10 мкм вилочный пальцевый электрод на основе кремниевой емкостной матрицы MEMS, газочувствительный фоточувствительный к влаге биосенсор

1, Подложка электрода представляет собой монокристаллический кремний (тип P), Si02 выращен на поверхности кремниевой пластины, а толщина составляет 300 нм;

Размер: 4 мм * 7 мм * 0,52 мм.

2, Ширина линии: 10 мкм, межстрочный интервал: 10 м, длина пальца: 1,5 мм, количество раздвоенных пальцев: 60 (120 пальцев).

3, Структура металлического слоя: Cr / Au, толщина 30 нм, 100 нм соответственно;

4, Диапазон температур электрода: -150 ℃ ~ 500 ℃;

5, В основном используется в различных химических, физических и биологических датчиках, обеспечивает надежную работу и стабильное качество.